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炜群科技股份有限公司
公司简介
 

公司地址: 302新竹县竹北市光明一路200号 联 络 人 :
电  话: 03-5538668 传  真: 03-5538678
电子邮件: info@aceteam.com.tw 网  站:
 
产品项目

@ARTS取代传统炉管可达250℃/sec的升温率, 提供快速热处理, 以降低Thermal Budget, 应用于Contact Alloy, Implant Annealing, Oxidation, Reflow, etc. @Probe Station, Probing Accessories手动及半自动探针机台 美国 Probing Solution Inc. 提供手动及半自动探针机台及相关配件如 lasers, microscope, thermal control system, stages and socket stage adapters, etc. @Particle Counter for Air, Liquid, Gas and Vacuum 粉尘计数器, 微粒子计量器, FMS中央监控系统 美国Pacific Scientific Instruments旗下的Hiac(DIW, Chemicals), Royco,MetOne(Air, Gas)及High Yield Technology (HYT) 应用于无尘室工程监控, DI Water, 化学品, 高压气体及制程设备如CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher等各种微粒子监控. 并提供维修, 校正、技术咨询, 租借及代测工程服务. @Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System 表面微粒子计量器, 小型环境微粒子、温湿度、压差、风速监控系统 美国Pentagon Technologies 的 QIII+ 应用于设备机台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 内Surface Particles 量测, 可降低产品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作台面积台表面洁净度..等的验证. 此已为目前机台维护作业时的标准工具之一. Q-view 为一针对Mini-environment, Factory Interface 等 Critical Area 可量测 Particle, △P, TRH, Velocity..的监视模块, 可即时反应出Contamination Issue. @Certified Particle Size Standards标准微粒子试剂 美国DUKE Scientific Corporation标准微粒子试剂; DUKE提供从0.02µm至1000µm各种不同Size符合NIST的标准件, 应用于KLA/Tencor surface particle counter、Air/Liquid/Gas particle counter之校正及 HEPA、ULPA 等Filter过滤效率验证, 制药厂产品USP之确效. Advanced Rapid Thermal System ( ARTS ) 快速热处理系统
 

 
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